Бериллиевая керамика
Предприятие производит изделия из керамики на основе оксида бериллия, в том числе подложки, с содержанием основного вещества 95,0-99,5%. Керамика на основе оксида бериллия выпускается в соответствии с требованиями технических условий аЯ0.027.002 ТУ «Керамика вакуумплотная». Изделия из керамики на основе оксида бериллия выпускаются по техническим условиям ТУ 95.283-91 и ТУ 95.29-92.
Технические характеристики
| № | Наименование параметров | Значение |
| 1 | Содержание оксида бериллия,весовые %, не менее | 95,0-99,5 |
| 2 | Суммарное содержание прочих окислов (СаО, Si02, Аl203), весовые %, не более | 5,0-05 |
| 3 |
Кажущаяся плотность, г/см3, не менее: - для изделий, не подлежащих металлизации, - для изделий, подлежащих металлизации, |
2,8 2,85
|
| 4 |
Теплопроводность на воздухе, Вт/(м х К) или кал/см х с, °С, не менее |
251-270 0,6 |
| 5 | Удельное объемное электрическое сопротивление, Ом х см, не менее | 1х1014 |
| 6 | Температурный коэффициент линейного расширения в интервале температур 20...900°С, 1/°С | (5-10)х10-6 |
| 7 | Диэлектрическая проницаемость при частоте 3 ГГц, не более | 7,2 |
| 8 | Тангенс угла диэлектрических потерь при частоте 3 ГГц, не более | (5-7)х10-4 |
| 9 | Пробивное напряжение, кВ/мм, не менее | 25 |
| 10 |
Предел прочности при статическом изгибе: - кгс/см, не менее, - Мпа, не менее |
1800 177 |
| 11 |
Термостойкость, 0С, не менее |
2000-2200 |
Примечание : Величины параметров для показателей па п.п. 4, 5, 7, 8 указаны при температуре ; 20+-10 °С
Параметры выпускаемых изделий
| № | Наименование параметров | Значение |
| 1 |
Геометрические размеры, мм: |
5x5x5-120x120x120 |
| 2 |
Качество механической обработки (допуски, параллельность, соосность, шероховатость) |
согласно требований заказчика |
Параметры механической обработки подложек
| № | Наименование параметров | Значение |
| 1 | Шероховатость полированной поверхности, Rz, мкм | 0,1 |
| 2 | Шероховатость шлифованной поверхности, Ra мкм | 1,6 |
| 3 | Количество полированных/шлифованных поверхностей, шт, не более | 2,0 |
| 4 | Размеры изготавливаемых подложек* | по чертежам заказчика |
| 5 | Толщина изготавливаемых подложек* | (0,7-5,0)-0,05 |
Характеристики изделий с покрытием
| № | Наименование параметров | Значение |
| 1 |
Толщина слоя металлизации, мкм: - при вжигании пасты - при конденсации металлов в вакууме |
20-50 3-18 |
| 2 |
Толщина никелевого покрытия, мкм |
3-10 |
| 3 |
Прочность сцепления металлизационного покрытия с керамикой "на отрыв", кгс/см2, не менее: |
800 |
